真空熔炼炉常见的真空计有哪些 　　真空泵精确测量是真空熔炼炉真空设备中的一个关键构成部分。用以精确测量真空值的仪器设备称之为真空计。常见的真空计有：热偶真空计、弱电解质真空计，原理如下： 　　热偶真空计 　　真空熔炼炉的热偶真空计由光敏电阻器、热偶规管和检测仪器构成。热偶规管与被测超滤装置互通，机壳为玻璃试管，管中有电阻丝和热偶丝。热偶丝的冷端和热端溫度不另外，因为温度差效用，在控制回路含有热电势差造成。如电阻丝工作电压维持稳定，则热偶丝的电势差限决于电阻丝的溫度，而电阻丝的溫度与被测汽体的气体压强相关。气体压强低，汽体导热系数小，被汽体带去的发热量少，电阻丝溫度上升，热偶丝的热电势差扩大；相反，则热电势差降低。控制回路中的热电势差用毫伏表精确测量，表格中的毫伏数即体现出真空值的高矮。以便确保电阻丝的工作电压平稳，而连接了可调稳压电源。因此检测仪器是由精确测量热电势差的毫伏表和规管电阻丝可调稳压电源两一部分构成。 　　弱电解质真空计 　　这类真空计关键用以精确测量高真空值。在底压强汽体中，汽体分子结构被弱电解质转化成的正离子数与气体压强正比依照离造成的方式不一样，运用热阴极发送电子器件使汽体弱电解质的真空计叫热阴极弱电解质真空计；在其中，热阴极弱电解质真空计由热阴极规管和检测仪器构成。检测仪器由规管工作中开关电源、发送电流量稳压电源、离子流精确测量放大仪等一部分构成。热阴极弱电解质规管与被测超滤装置互通。 　　真空熔炼炉的热阴极弱电解质规管是一个三极管，管中有负极、栅及和搜集极。搜集极电位差相对性于负极电负电位；栅极相对性于负极电正电位差。当弱电解质规管通电加热器后，负极发送电子器件，在电子器件抵达栅极的全过程中，与汽体分子结构撞击而造成正离子和电子器件的弱电解质状况。当发送电流量一定时，正离子数天与被测气体压强正比。正离子被搜集极搜集后，经精确测量电源电路变大，可由批复电度表读取所要精确测量的真空值。

　　真空烧结炉结构上要满足哪些要求呢 　　真空烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡(润滑剂或成形剂)、还原、合金化、组织转变等顺利进行，烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行精确的控制。 　　因此，真空烧结炉在结构上应满足以下要求： 　　(1)具有完善的润滑剂烧除装置(俗称脱蜡带)。 　　(2)具有气密性，即能隔绝炉外空气并保证炉内保护气氛畅通。 　　(3)炉内的各段温度可控，烧结气氛可调。 　　(4)具有快速冷却装置，可将烧结零件快速冷却到出炉温度而不会氧化。 　　真空烧结炉使用的注意事项 　　(1)当使用氢气或分解氨时，要先通入氮气，在确保炉中的空气完全被排出时，才能通电升温，以防止打鸣和爆炸。 　　(2)对钼丝作加热元件的烧结炉，在通电前炉体中应通入保护气体，以防止钼丝氧化而脆断。 　　(3)真空烧结炉炉门及气体排出口应点明火烧除，以防止氧气进入或氢气排出而发生爆炸危险和煤气中毒危险。 　　(4)若电热元件为铁铬铝电阻丝，在升温至1100℃时应停留一段时间(30min左右)再升温，以防止电阻丝表面温度过高而损坏。 　　(5)在升温前和操作中应不时检查气流、水流是否符合要求，以及检查设备、电和炉温的控制仪表是否正常。 　　(6)停炉前应先断电，在炉温降到200℃以下时再停气和停水。 　　(7)除了因维修要停真空烧结炉炉外，要避免频繁停炉。烧结炉的频繁开停，会造成加热元件易于老化，耐火材料易于碎裂，炉内气氛不纯，炉温容易波动等弊端。